Измерительное оборудование
Precision Measurement PMISH wafer defect inspection portfolio
上海精测半导体 / Precision Measurement →Оборудование PMISH для инспекции дефектов пластин и review: Vega 300/500, eSpec/eVc, BFI, eView, iView и AeroScan серии для bare wafer, patterned wafer, e-beam review и FIB-SEM сценариев.
Ключевые фишки
- ✓ Vega 300/500: high-sensitivity high-throughput wafer defect inspection.
- ✓ eSpec: large field high-resolution wafer defect metrology/inspection.
- ✓ iView и AeroScan: 12-inch inline FIB-SEM и desktop dual-beam FIB-SEM.
Характеристики
Категория Измерительное оборудование
Visible Series Vega 300; Vega 500; eSpec; eVc; BFI 100; BFI 200; eView 1000; eView 2000; iView; AeroScan
Measurement Types wafer defect inspection; wafer defect review; FIB-SEM; electron beam inspection
Источники
- 上海精测半导体技术有限公司_可搜索.pdf, стр. 4
- 上海精测半导体技术有限公司_可搜索.pdf, стр. 5
- pmish-tech.com
Из каталога
