Измерительное оборудование
Precision Measurement PMISH metrology portfolio
上海精测半导体 / Precision Measurement →Метрологические системы PMISH для semiconductor manufacturing: thin-film thickness, OCD/CD, wafer stress/warpage, e-beam measurement, WAT/CP electrical test и scale/overlay-like measurements.
Ключевые фишки
- ✓ EFILM FD/SS/E: тонкопленочная толщина для advanced, mature и economical process nodes.
- ✓ EPROFILE FD/IM и SCALE EPI: OCD/CD, CMP/ETCH profile и epi thickness/concentration.
- ✓ J-Metron 3100/3200/5000/6000: CV, resistance, WAT и CP electrical measurements.
Характеристики
Категория Измерительное оборудование
Visible Series EFILM FD; EPROFILE FD; EPROFILE IM; TG IF; TG LS; TG E; eMetric; MetaPam; SCALE EPI; J-Metron 3100; J-Metron 3200; J-Metron 5000; J-Metron 6000
Measurement Types film thickness; OCD/CD; wafer stress; electron beam metrology; WAT; CP
Источники
- 上海精测半导体技术有限公司_可搜索.pdf, стр. 6
- 上海精测半导体技术有限公司_可搜索.pdf, стр. 7
- pmish-tech.com
Из каталога
