Микроэлектроника
Betone CVD/PVD thin-film deposition systems
上海陛通半导体能源科技 / Betone →Портфель Betone для тонкопленочного осаждения: 300 mm PECVD/SACVD/PVD, UV Cure, 200/300 mm compatible CVD/PVD package platforms, 200 mm PVD и TSV/HBM-oriented deposition solutions.
Ключевые фишки
- ✓ 300 mm CVD: Jupiter 3120-PE PECVD, Jupiter 3120-SA SACVD, Aegis UV, Horizon.
- ✓ 300 mm PVD: Venus 3210; 200/300 mm CVD/PVD: Jupiter Package и Venus Package.
- ✓ Advanced packaging: 300 mm TSV(HBM) liner oxide PE-SACVD, TSV copper B/S PVD, 200 mm HAR TSV PVD.
Характеристики
Категория Микроэлектроника
Wafer Sizes 200 mm; 300 mm
Process Types PECVD; SACVD; CVD; PVD; UV Cure; TSV
Visible Series Jupiter 3120-PE; Jupiter 3120-SA; Aegis UV; Horizon; Venus 3210; Jupiter Package; Venus Package; Venus 2200
Источники
- {'type': 'pdf_page', 'ref': '上海陛通半导体能源科技股份有限公司_可搜索.pdf:2', 'note': 'Equipment families and TSV solution'}
Из каталога
